SCALE：面向先进制程局部布局布线违规修复的自监督约束感知版图生成

论文提出SCALE，将多层BEOL版图几何序列化为结构化文本，通过随机遮蔽多边形重建学习局部布局规律，再以自然语言设计规则和高温采样生成候选版图，并交由工业级签核DRC工具标注。作者称，由此训练的DRC-VLM可将现有修复智能体在100个真实亚2纳米案例上的解决率提高12至25个百分点，最高达到97%。